VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
1
as rec'd 90 deg electron TOA
NORM
REGULAR
6
0
0
0
0
0
6
as rec'd 90 deg electron TOA
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
2003
5
10
14
39
37
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
2002
107
260377
0.0603073
0.288006
28355
0.288006
27667
0.287179
26408
0.286357
25980
0.285538
25645
0.284724
25490
0.283913
24965
0.283106
24448
0.282304
24315
0.281505
24043
0.28071
24552
0.279919
25301
0.279132
25632
0.278348
25852
0.277569
26768
0.276793
29039
0.276021
31781
0.275252
34333
0.274487
37159
0.273726
39924
0.272968
42829
0.272214
41913
0.271464
38758
0.270717
34504
0.269973
31017
0.269233
28261
0.268497
26169
0.267764
24097
0.267034
22791
0.266308
21190
0.265585
19423
0.264866
17871
0.26415
16516
0.263437
15732
0.262727
15464
0.262021
15138
0.261318
14982
0.260618
15001
0.259922
14935
0.259228
14737
0.258538
15091
0.257851
15085
0.257167
14958
0.256486
15025
0.255808
14835
0.255134
14828
0.254462
15051
0.253793
15195
0.253128
15058
0.252465
15244
0.251805
15021
0.251149
15225
0.250495
15124
0.249844
15130
0.249196
15357
0.248551
15260
0.247909
15350
0.247269
15295
0.246633
15544
0.245999
15392
0.245368
15519
0.24474
15511
0.244114
15354
0.243492
15590
0.242872
15810
0.242254
15685
0.24164
15714
0.241028
15937
0.240418
15710
0.239812
15982
0.239208
15859
0.238606
15875
0.238007
16020
0.237411
15735
0.236817
16059
0.236226
16177
0.235637
16261
0.235051
16189
0.234467
16221
0.233886
16364
0.233308
16370
0.232731
16065
0.232157
16465
0.231586
16595
0.231017
16456
0.23045
16485
0.229886
16673
0.229324
16710
0.228765
16527
0.228208
16843
0.227653
16669
0.2271
16707
0.22655
16659
0.226002
16955
0.225456
16972
0.224913
17136
0.224372
17084
0.223833
17045
0.223296
17176
0.222761
17192
0.222229
17120
0.221699
17486
0.221171
17338
0.220645
17562
0.220121
17397
0.219599
17516
0.21908
17503
0.218563
17380
0.218047
17446
0.217534
17613
0.217023
17532
0.216514
17577
0.216007
17828
0.215502
17699
0.214999
17558
0.214498
18153
0.213999
18021
0.213502
18219
0.213007
17756
0.212514
18115
0.212022
17997
0.211533
18164
0.211046
18176
0.210561
18290
0.210077
18403
0.209596
18393
0.209116
18273
0.208638
18537
0.208163
18141
0.207688
18274
0.207216
18513
0.206746
18667
0.206277
18328
0.205811
18642
0.205346
18465
0.204883
18908
0.204422
18965
0.203962
18769
0.203504
18846
0.203048
18961
0.202594
19023
0.202141
19223
0.201691
19359
0.201242
19268
0.200794
19098
0.200349
19180
0.199905
19485
0.199462
19159
0.199022
19548
0.198583
19477
0.198146
19292
0.19771
19491
0.197276
19762
0.196844
19739
0.196413
19702
0.195984
19878
0.195556
19814
0.19513
19965
0.194706
19752
0.194283
20081
0.193862
20030
0.193443
20408
0.193024
20182
0.192608
20011
0.192193
20088
0.19178
19961
0.191368
20075
0.190957
20420
0.190548
20351
0.190141
20692
0.189735
20358
0.189331
20396
0.188928
20379
0.188526
20601
0.188126
20588
0.187728
20426
0.18733
20841
0.186935
20774
0.18654
20869
0.186148
20774
0.185756
20785
0.185366
20836
0.184978
20766
0.18459
20947
0.184205
21118
0.18382
21239
0.183437
21165
0.183055
21249
0.182675
21396
0.182296
21585
0.181918
21300
0.181542
21738
0.181167
21444
0.180793
21661
0.180421
21526
0.18005
21548
0.17968
21586
0.179312
21813
0.178945
21822
0.178579
21932
0.178214
21677
0.177851
21749
0.177489
21999
0.177128
22167
0.176769
22261
0.176411
22286
0.176054
22150
0.175698
22291
0.175343
22349
0.17499
22122
0.174638
22637
0.174287
22590
0.173937
22797
0.173589
22502
0.173242
22504
0.172896
22592
0.172551
22550
0.172207
22567
0.171864
22686
0.171523
22737
0.171183
22803
0.170844
22914
0.170506
22766
0.170169
23210
0.169833
23176
0.169499
23020
0.169165
23179
0.168833
23444
0.168502
23439
0.168172
23164
0.167843
23222
0.167515
23385
0.167189
23457
0.166863
23387
0.166538
23773
0.166215
23634
0.165893
23534
0.165571
23728
0.165251
23714
0.164932
24065
0.164614
24253
0.164297
24014
0.163981
24131
0.163666
24149
0.163352
24291
0.163039
24236
0.162727
23897
0.162416
24352
0.162106
24396
0.161797
24563
0.161489
24649
0.161182
24604
0.160877
24630
0.160572
24571
0.160268
24786
0.159965
24749
0.159663
24828
0.159362
25113
0.159062
24827
0.158763
24847
0.158465
25134
0.158168
25168
0.157872
25042
0.157577
25152
0.157283
25156
0.156989
25279
0.156697
25532
0.156406
25336
0.156115
25434
0.155825
25606
0.155537
25335
0.155249
25592
0.154962
25744
0.154676
25378
0.154391
25913
0.154107
25791
0.153824
25987
0.153542
26037
0.15326
26005
0.15298
26288
0.1527
26174
0.152421
26462
0.152143
26393
0.151866
26267
0.15159
26595
0.151315
26645
0.15104
26627
0.150767
26597
0.150494
26552
0.150222
26902
0.149951
26903
0.149681
26713
0.149411
26774
0.149143
27466
0.148875
26887
0.148608
27190
0.148342
27181
0.148077
26993
0.147812
27381
0.147548
27773
0.147285
27304
0.147023
27603
0.146762
27267
0.146502
27567
0.146242
27583
0.145983
27487
0.145725
27653
0.145468
27437
0.145211
28081
0.144955
28014
0.1447
28338
0.144446
28500
0.144193
28318
0.14394
27990
0.143688
28408
0.143437
28611
0.143186
28339
0.142937
28340
0.142688
28853
0.142439
28624
0.142192
28794
0.141945
28970
0.141699
28934
0.141454
28988
0.141209
28756
0.140965
29060
0.140722
29181
0.14048
28965
0.140238
29039
0.139997
29513
0.139757
29292
0.139518
29373
0.139279
29887
0.139041
29635
0.138803
29444
0.138566
29929
0.13833
29813
0.138095
29849
0.13786
30292
0.137626
30168
0.137393
30389
0.13716
30316
0.136928
30028
0.136697
30298
0.136466
30304
0.136236
30388
0.136007
30731
0.135779
30562
0.135551
31058
0.135323
31152
0.135097
31016
0.134871
31384
0.134645
31115
0.13442
31390
0.134196
31513
0.133973
31692
0.13375
31602
0.133528
31746
0.133306
31420
0.133085
31811
0.132865
31989
0.132645
31628
0.132426
32392
0.132208
31964
0.13199
32021
0.131773
32498
0.131556
32584
0.13134
32787
0.131125
32941
0.13091
32887
0.130696
32966
0.130483
33370
0.13027
33299
0.130057
33677
0.129846
33526
0.129634
33436
0.129424
33785
0.129214
33862
0.129004
33719
0.128795
34330
0.128587
34394
0.12838
34406
0.128172
34272
0.127966
34374
0.12776
34632
0.127555
34711
0.12735
34922
0.127145
35115
0.126942
35241
0.126739
35452
0.126536
35629
0.126334
35333
0.126132
35496
0.125931
36231
0.125731
35970
0.125531
36294
0.125332
36301
0.125133
36817
0.124935
36509
0.124737
37448
0.12454
36955
0.124344
37204
0.124147
37608
0.123952
37789
0.123757
37657
0.123562
38226
0.123368
37889
0.123175
38380
0.122982
38522
0.12279
39031
0.122598
39041
0.122406
39991
0.122215
40358
0.122025
40239
0.121835
40442
0.121646
40112
0.121457
40811
0.121269
40894
0.121081
41084
0.120893
40867
0.120707
40921
0.12052
41366
0.120334
41172
0.120149
41156
0.119964
41842
0.11978
42350
0.119596
42142
0.119412
42664
0.119229
42676
0.119047
42767
0.118865
42903
0.118683
42739
0.118502
42534
0.118322
43169
0.118142
43490
0.117962
44414
0.117783
45231
0.117604
46072
0.117426
47689
0.117248
48746
0.117071
49528
0.116894
50022
0.116718
50566
0.116542
51601
0.116366
51394
0.116191
51627
0.116017
50220
0.115843
49334
0.115669
47362
0.115496
46537
0.115323
45689
0.115151
45536
0.114979
44461
0.114807
43525
0.114636
42621
0.114466
41914
0.114295
40873
0.114126
39647
0.113956
39017
0.113788
38328
0.113619
38162
0.113451
38432
0.113284
38723
0.113116
41272
0.11295
51312
0.112783
104980
0.112617
239698
0.112452
260377
0.112287
121718
0.112122
50660
0.111958
38826
0.111794
36132
0.111631
34991
0.111468
34708
0.111305
33964
0.111143
33854
0.110981
33902
0.11082
33644
0.110659
33578
0.110498
33913
0.110338
33922
0.110178
33868
0.110019
33829
0.10986
34109
0.109701
33511
0.109543
34070
0.109385
34037
0.109228
34213
0.109071
34237
0.108914
34025
0.108758
34000
0.108602
34220
0.108447
34358
0.108292
34320
0.108137
34447
0.107982
34187
0.107829
34532
0.107675
34678
0.107522
34593
0.107369
34754
0.107216
34749
0.107064
34366
0.106912
34753
0.106761
34407
0.10661
34767
0.106459
34775
0.106309
34866
0.106159
34622
0.10601
34748
0.105861
34949
0.105712
34828
0.105563
35137
0.105415
34981
0.105267
34878
0.10512
35105
0.104973
35004
0.104826
35203
0.10468
35244
0.104534
35528
0.104388
35124
0.104243
35279
0.104098
35464
0.103953
35766
0.103809
35702
0.103665
35408
0.103522
35487
0.103378
35576
0.103235
35411
0.103093
35666
0.102951
35907
0.102809
35687
0.102667
36201
0.102526
35629
0.102385
35866
0.102245
35514
0.102104
35823
0.101964
36140
0.101825
35595
0.101686
36125
0.101547
36202
0.101408
35827
0.10127
36357
0.101132
36424
0.100994
36412
0.100857
36617
0.10072
36696
0.100583
36664
0.100447
36707
0.100311
36597
0.100175
36714
0.10004
36799
0.0999048
36879
0.09977
36674
0.0996356
37066
0.0995014
36972
0.0993676
37093
0.099234
37128
0.0991008
36956
0.0989679
37302
0.0988353
37298
0.098703
37250
0.098571
37647
0.0984393
37674
0.0983079
37660
0.0981767
37620
0.0980459
37346
0.0979154
37535
0.0977852
37521
0.0976553
37656
0.0975257
38108
0.0973964
37717
0.0972674
37431
0.0971386
37495
0.0970102
38336
0.096882
38102
0.0967542
38016
0.0966266
38081
0.0964993
38181
0.0963723
38140
0.0962456
38470
0.0961192
38018
0.095993
38654
0.0958672
38530
0.0957416
38267
0.0956163
38116
0.0954913
38464
0.0953666
38291
0.0952421
38452
0.095118
38945
0.0949941
38761
0.0948704
38712
0.0947471
38801
0.094624
38703
0.0945012
38931
0.0943787
39274
0.0942564
39462
0.0941345
40855
0.0940128
42137
0.0938913
41896
0.0937701
41629
0.0936492
40390
0.0935286
39650
0.0934082
39314
0.0932881
39403
0.0931683
39347
0.0930487
39218
0.0929294
39469
0.0928103
39081
0.0926915
39261
0.092573
39297
0.0924547
39828
0.0923367
39808
0.092219
39448
0.0921015
40153
0.0919842
39671
0.0918672
39913
0.0917505
39981
0.091634
39884
0.0915178
39875
0.0914018
40195
0.0912861
40219
0.0911707
40036
0.0910554
40400
0.0909405
40616
0.0908257
40765
0.0907113
40551
0.090597
40449
0.0904831
40660
0.0903693
40579
0.0902558
40847
0.0901426
40702
0.0900296
40598
0.0899168
40731
0.0898043
40771
0.089692
41305
0.08958
41032
0.0894682
41058
0.0893567
41501
0.0892453
41092
0.0891343
41665
0.0890234
41397
0.0889128
41865
0.0888024
41206
0.0886923
41905
0.0885824
41631
0.0884727
42071
0.0883633
41868
0.0882541
41693
0.0881451
42028
0.0880364
41726
0.0879279
42375
0.0878196
42415
0.0877115
42166
0.0876037
42283
0.0874961
42404
0.0873887
42816
0.0872815
42788
0.0871746
42281
0.0870679
42271
0.0869614
43147
0.0868552
43406
0.0867492
43126
0.0866434
43297
0.0865378
43391
0.0864324
43287
0.0863272
43295
0.0862223
43441
0.0861176
43486
0.0860131
43472
0.0859088
44108
0.0858048
43827
0.0857009
44219
0.0855973
44267
0.0854939
44132
0.0853907
44152
0.0852877
44724
0.0851849
44475
0.0850824
44670
0.08498
44660
0.0848779
45235
0.0847759
45909
0.0846742
45306
0.0845727
45199
0.0844714
45247
0.0843703
45155
0.0842694
45544
0.0841688
45563
0.0840683
45621
0.083968
45695
0.0838679
46084
0.0837681
45678
0.0836684
46365
0.083569
46272
0.0834697
46040
0.0833707
46287
0.0832718
46789
0.0831732
46486
0.0830747
46801
0.0829765
46639
0.0828784
46587
0.0827806
46657
0.0826829
46145
0.0825855
45703
0.0824882
45718
0.0823912
45681
0.0822943
46316
0.0821976
46437
0.0821012
46155
0.0820049
46450
0.0819088
47963
0.0818129
51292
0.0817172
55416
0.0816217
64345
0.0815264
80266
0.0814312
86277
0.0813363
59701
0.0812415
47885
0.081147
46720
0.0810526
45894
0.0809584
45980
0.0808644
46194
0.0807706
46497
0.080677
45828
0.0805835
46349
0.0804903
46011
0.0803972
46612
0.0803043
46852
0.0802116
46954
0.0801191
46731
0.0800268
47150
0.0799346
47277
0.0798427
47483
0.0797509
47366
0.0796593
47482
0.0795678
47669
0.0794766
47715
0.0793855
47615
0.0792946
47882
0.0792039
48375
0.0791134
48354
0.079023
48874
0.0789329
48986
0.0788429
48967
0.078753
48706
0.0786634
49256
0.0785739
49562
0.0784846
49306
0.0783955
49796
0.0783065
49879
0.0782177
49871
0.0781291
50011
0.0780407
50290
0.0779524
50000
0.0778643
50314
0.0777764
50951
0.0776886
51457
0.0776011
50999
0.0775136
51775
0.0774264
51796
0.0773393
51796
0.0772524
52343
0.0771657
52705
0.0770791
52698
0.0769927
53003
0.0769064
53035
0.0768203
53196
0.0767344
52888
0.0766487
53517
0.0765631
53288
0.0764777
53867
0.0763924
53911
0.0763073
54455
0.0762224
53952
0.0761376
54622
0.076053
55217
0.0759685
55225
0.0758842
55951
0.0758001
56263
0.0757162
56581
0.0756323
57328
0.0755487
57277
0.0754652
56634
0.0753819
57101
0.0752987
56710
0.0752157
57200
0.0751328
56951
0.0750501
57090
0.0749675
57116
0.0748852
57115
0.0748029
58123
0.0747208
57723
0.0746389
58851
0.0745571
59986
0.0744755
60648
0.074394
61029
0.0743127
61791
0.0742315
62367
0.0741505
63165
0.0740697
62557
0.073989
61971
0.0739084
60990
0.073828
60892
0.0737477
60455
0.0736676
59844
0.0735877
59601
0.0735078
59944
0.0734282
60412
0.0733487
61877
0.0732693
62522
0.0731901
63908
0.073111
65286
0.0730321
66892
0.0729533
69747
0.0728746
70244
0.0727961
70954
0.0727178
69820
0.0726396
67841
0.0725615
66167
0.0724836
63374
0.0724059
61388
0.0723282
60197
0.0722507
60513
0.0721734
60056
0.0720962
60624
0.0720191
61202
0.0719422
62585
0.0718654
64310
0.0717888
66994
0.0717123
72066
0.0716359
77715
0.0715597
84381
0.0714836
89266
0.0714077
85230
0.0713319
75821
0.0712562
66227
0.0711807
58996
0.0711053
54263
0.07103
51002
0.0709549
48884
0.0708799
47855
0.0708051
47451
0.0707304
47665
0.0706558
48934
0.0705814
53432
0.0705071
64810
0.0704329
74229
0.0703588
76565
0.0702849
96408
0.0702112
171833
0.0701375
169002
0.070064
76118
0.0699906
47269
0.0699174
39339
0.0698443
36137
0.0697713
34214
0.0696984
32841
0.0696257
32338
0.0695531
32394
0.0694807
32501
0.0694083
33046
0.0693361
33857
0.0692641
34722
0.0691921
36201
0.0691203
37916
0.0690486
39268
0.068977
39627
0.0689056
38856
0.0688343
37024
0.0687631
34430
0.0686921
31779
0.0686211
30420
0.0685503
29110
0.0684796
28679
0.0684091
28331
0.0683386
28462
0.0682683
28859
0.0681982
29516
0.0681281
30665
0.0680582
32701
0.0679883
35848
0.0679187
40821
0.0678491
47368
0.0677796
53069
0.0677103
51852
0.0676411
42744
0.067572
32675
0.0675031
25546
0.0674342
21255
0.0673655
18355
0.0672969
16710
0.0672284
15577
0.0671601
14772
0.0670918
14479
0.0670237
13990
0.0669557
16172
0.0668878
27880
0.06682
39694
0.0667524
30408
0.0666849
33257
0.0666174
110194
0.0665501
162512
0.066483
39467
0.0664159
6641
0.0663489
4733
0.0662821
3866
0.0662154
3484
0.0661488
3361
0.0660823
3090
0.0660159
2916
0.0659496
2961
0.0658835
2981
0.0658175
2915
0.0657515
2777
0.0656857
2957
0.06562
2872
0.0655545
2838
0.065489
2948
0.0654236
2901
0.0653584
2987
0.0652932
2890
0.0652282
2959
0.0651633
3037
0.0650985
3064
0.0650338
3155
0.0649692
3577
0.0649048
3529
0.0648404
3190
0.0647761
2994
0.064712
3000
0.064648
3091
0.064584
2869
0.0645202
2986
0.0644565
3049
0.0643929
3024
0.0643294
3111
0.064266
3146
0.0642027
3154
0.0641396
3176
0.0640765
3357
0.0640135
3222
0.0639507
3359
0.0638879
3404
0.0638253
3397
0.0637628
3437
0.0637003
3402
0.063638
3503
0.0635758
3474
0.0635136
3401
0.0634516
3448
0.0633897
3556
0.0633279
3490
0.0632662
3600
0.0632046
3719
0.0631431
3859
0.0630817
3773
0.0630204
3800
0.0629592
3883
0.0628981
3781
0.0628371
3760
0.0627762
3775
0.0627155
3783
0.0626548
3568
0.0625942
3586
0.0625337
3610
0.0624733
3709
0.062413
3579
0.0623528
3645
0.0622928
3889
0.0622328
4083
0.0621729
4483
0.0621131
4987
0.0620534
5840
0.0619938
7201
0.0619343
8650
0.0618749
9382
0.0618156
8144
0.0617564
5833
0.0616973
4428
0.0616383
3795
0.0615794
3660
0.0615206
3274
0.0614619
2927
0.0614032
2641
0.0613447
2593
0.0612863
3019
0.0612279
3526
0.0611697
3967
0.0611115
4348
0.0610535
4801
0.0609955
4851
0.0609377
4966
0.0608799
5198
0.0608222
5328
0.0607647
4171
0.0607072
3320
0.0606498
3382
0.0605925
3401
0.0605353
2727
0.0604781
1327
0.0604211
339
0.0603642
107
0.0603073
as rec'd 90 deg electron TOA
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
2003
5
10
14
39
40
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
50
4.00E-06
0
0
0
0
1002
87
23846
0.059744
0.0626548
9466
0.0626548
9494
0.0626487
9441
0.0626426
9402
0.0626366
9510
0.0626305
9404
0.0626245
9376
0.0626184
9348
0.0626124
9308
0.0626063
9294
0.0626002
9388
0.0625942
9396
0.0625881
9274
0.0625821
9299
0.062576
9336
0.06257
9305
0.0625639
9106
0.0625579
9152
0.0625518
9134
0.0625458
9193
0.0625397
9230
0.0625337
9178
0.0625277
9311
0.0625216
9145
0.0625156
9096
0.0625095
9062
0.0625035
9264
0.0624975
9165
0.0624914
8958
0.0624854
9143
0.0624793
9069
0.0624733
9026
0.0624673
9156
0.0624612
9026
0.0624552
8934
0.0624492
8833
0.0624432
9001
0.0624371
8818
0.0624311
8831
0.0624251
8834
0.0624191
8930
0.062413
8888
0.062407
8817
0.062401
8801
0.062395
8943
0.0623889
8778
0.0623829
8982
0.0623769
8960
0.0623709
9048
0.0623649
8830
0.0623589
8984
0.0623528
8781
0.0623468
8847
0.0623408
8924
0.0623348
8890
0.0623288
8840
0.0623228
8900
0.0623168
8954
0.0623108
9011
0.0623048
8988
0.0622988
9277
0.0622928
9188
0.0622868
8907
0.0622807
9106
0.0622747
9252
0.0622687
9016
0.0622627
9100
0.0622568
9242
0.0622508
9242
0.0622448
9295
0.0622388
9369
0.0622328
9330
0.0622268
9216
0.0622208
9393
0.0622148
9567
0.0622088
9524
0.0622028
9656
0.0621968
9694
0.0621908
9700
0.0621848
9607
0.0621789
9797
0.0621729
10034
0.0621669
10056
0.0621609
10028
0.0621549
10032
0.062149
10266
0.062143
10200
0.062137
10325
0.062131
10513
0.062125
10488
0.0621191
10657
0.0621131
10596
0.0621071
10903
0.0621011
10944
0.0620952
11137
0.0620892
11039
0.0620832
11193
0.0620773
11344
0.0620713
11390
0.0620653
11845
0.0620594
11754
0.0620534
12113
0.0620474
11911
0.0620415
12256
0.0620355
12312
0.0620295
12589
0.0620236
12479
0.0620176
13072
0.0620117
13189
0.0620057
13623
0.0619998
13539
0.0619938
13535
0.0619879
14119
0.0619819
14201
0.0619759
14415
0.06197
14673
0.061964
15077
0.0619581
15357
0.0619521
15634
0.0619462
16127
0.0619403
16376
0.0619343
16839
0.0619284
16753
0.0619224
17175
0.0619165
17813
0.0619105
18013
0.0619046
18610
0.0618987
18825
0.0618927
19496
0.0618868
19685
0.0618808
20092
0.0618749
20717
0.061869
21109
0.061863
20855
0.0618571
21453
0.0618512
21994
0.0618453
22476
0.0618393
22133
0.0618334
22941
0.0618275
23004
0.0618215
22843
0.0618156
22965
0.0618097
23432
0.0618038
23846
0.0617978
23277
0.0617919
23367
0.061786
23232
0.0617801
22952
0.0617742
23128
0.0617682
22818
0.0617623
22292
0.0617564
22154
0.0617505
21392
0.0617446
21276
0.0617387
20638
0.0617328
20133
0.0617268
19865
0.0617209
18698
0.061715
18300
0.0617091
17536
0.0617032
16910
0.0616973
16222
0.0616914
15792
0.0616855
15132
0.0616796
14670
0.0616737
14094
0.0616678
13959
0.0616619
13281
0.061656
12887
0.0616501
12451
0.0616442
12096
0.0616383
11768
0.0616324
11384
0.0616265
11534
0.0616206
11020
0.0616147
10848
0.0616088
10672
0.0616029
10427
0.061597
10311
0.0615912
10245
0.0615853
10033
0.0615794
10204
0.0615735
9787
0.0615676
9722
0.0615617
9733
0.0615558
9578
0.06155
9501
0.0615441
9348
0.0615382
9489
0.0615323
9478
0.0615264
9437
0.0615206
9192
0.0615147
9305
0.0615088
9069
0.0615029
9303
0.0614971
8918
0.0614912
9169
0.0614853
8982
0.0614795
8925
0.0614736
8646
0.0614677
8909
0.0614619
8616
0.061456
8646
0.0614501
8445
0.0614443
8433
0.0614384
8265
0.0614325
8275
0.0614267
8165
0.0614208
7938
0.0614149
8075
0.0614091
7784
0.0614032
7714
0.0613974
7809
0.0613915
7591
0.0613857
7423
0.0613798
7313
0.061374
7217
0.0613681
7227
0.0613622
7067
0.0613564
7051
0.0613506
6906
0.0613447
6817
0.0613389
6728
0.061333
6934
0.0613272
6737
0.0613213
6689
0.0613155
6654
0.0613096
6457
0.0613038
6669
0.0612979
6482
0.0612921
6669
0.0612863
6482
0.0612804
6586
0.0612746
6492
0.0612688
6396
0.0612629
6536
0.0612571
6661
0.0612513
6663
0.0612454
6945
0.0612396
6980
0.0612338
7015
0.0612279
7131
0.0612221
7386
0.0612163
7363
0.0612105
7600
0.0612046
7653
0.0611988
7928
0.061193
7889
0.0611872
8101
0.0611813
8111
0.0611755
8377
0.0611697
8467
0.0611639
8661
0.0611581
8482
0.0611522
8839
0.0611464
8716
0.0611406
9069
0.0611348
8956
0.061129
9006
0.0611232
9242
0.0611174
9192
0.0611115
9183
0.0611057
9379
0.0610999
9388
0.0610941
9487
0.0610883
9582
0.0610825
9490
0.0610767
9552
0.0610709
9623
0.0610651
9876
0.0610593
10003
0.0610535
10203
0.0610477
10217
0.0610419
10336
0.0610361
10758
0.0610303
10834
0.0610245
10844
0.0610187
10913
0.0610129
11243
0.0610071
11530
0.0610013
11619
0.0609955
11823
0.0609897
11717
0.060984
11951
0.0609782
12155
0.0609724
12279
0.0609666
12195
0.0609608
12412
0.060955
12361
0.0609492
12621
0.0609435
12548
0.0609377
12585
0.0609319
12815
0.0609261
12867
0.0609203
12548
0.0609146
12766
0.0609088
12782
0.060903
12645
0.0608972
12565
0.0608915
12821
0.0608857
12782
0.0608799
12683
0.0608741
12599
0.0608684
12622
0.0608626
12732
0.0608568
12531
0.0608511
12627
0.0608453
12663
0.0608395
12664
0.0608338
12799
0.060828
12525
0.0608222
12688
0.0608165
12684
0.0608107
12716
0.0608049
12708
0.0607992
12925
0.0607934
13085
0.0607877
13610
0.0607819
13496
0.0607762
13612
0.0607704
13657
0.0607647
13567
0.0607589
13955
0.0607531
13744
0.0607474
13629
0.0607416
13805
0.0607359
13534
0.0607301
13285
0.0607244
12960
0.0607187
12727
0.0607129
12423
0.0607072
12000
0.0607014
11705
0.0606957
11061
0.0606899
10817
0.0606842
10591
0.0606785
10285
0.0606727
9643
0.060667
9443
0.0606612
8975
0.0606555
8928
0.0606498
8498
0.060644
8398
0.0606383
8133
0.0606326
8062
0.0606268
8063
0.0606211
8112
0.0606154
7924
0.0606096
7868
0.0606039
7896
0.0605982
7968
0.0605925
8053
0.0605867
8153
0.060581
8217
0.0605753
8233
0.0605696
8489
0.0605639
8289
0.0605581
8549
0.0605524
8649
0.0605467
8621
0.060541
8683
0.0605353
8840
0.0605295
8568
0.0605238
8517
0.0605181
8612
0.0605124
8652
0.0605067
8355
0.060501
8524
0.0604953
8268
0.0604896
8045
0.0604838
8038
0.0604781
7929
0.0604724
7492
0.0604667
7589
0.060461
7231
0.0604553
6903
0.0604496
6637
0.0604439
6171
0.0604382
6017
0.0604325
5628
0.0604268
5121
0.0604211
4961
0.0604154
4562
0.0604097
4250
0.060404
3750
0.0603983
3405
0.0603926
3010
0.0603869
2751
0.0603813
2324
0.0603756
2053
0.0603699
1791
0.0603642
1536
0.0603585
1325
0.0603528
1161
0.0603471
955
0.0603414
734
0.0603358
689
0.0603301
558
0.0603244
517
0.0603187
440
0.060313
386
0.0603073
379
0.0603017
365
0.060296
335
0.0602903
271
0.0602846
270
0.060279
239
0.0602733
268
0.0602676
273
0.0602619
258
0.0602563
222
0.0602506
234
0.0602449
239
0.0602393
215
0.0602336
215
0.0602279
203
0.0602223
253
0.0602166
193
0.0602109
208
0.0602053
218
0.0601996
194
0.0601939
189
0.0601883
184
0.0601826
181
0.060177
171
0.0601713
166
0.0601656
179
0.06016
150
0.0601543
166
0.0601487
163
0.060143
159
0.0601374
165
0.0601317
175
0.0601261
155
0.0601204
165
0.0601148
169
0.0601091
131
0.0601035
143
0.0600978
132
0.0600922
125
0.0600865
137
0.0600809
136
0.0600753
135
0.0600696
137
0.060064
123
0.0600583
137
0.0600527
139
0.0600471
136
0.0600414
139
0.0600358
124
0.0600302
129
0.0600245
113
0.0600189
120
0.0600133
111
0.0600076
126
0.060002
137
0.0599964
117
0.0599907
110
0.0599851
115
0.0599795
115
0.0599738
113
0.0599682
92
0.0599626
110
0.059957
97
0.0599514
106
0.0599457
109
0.0599401
99
0.0599345
113
0.0599289
94
0.0599233
120
0.0599176
109
0.059912
136
0.0599064
112
0.0599008
126
0.0598952
102
0.0598896
106
0.059884
119
0.0598783
119
0.0598727
109
0.0598671
120
0.0598615
122
0.0598559
108
0.0598503
108
0.0598447
98
0.0598391
98
0.0598335
100
0.0598279
113
0.0598223
96
0.0598167
88
0.0598111
87
0.0598055
99
0.0597999
108
0.0597943
99
0.0597887
101
0.0597831
99
0.0597775
98
0.0597719
97
0.0597663
115
0.0597607
114
0.0597551
110
0.0597495
92
0.059744
as rec'd 90 deg electron TOA
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
2003
5
10
14
39
40
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
295
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
5148
0.125986
0.128421
196
0.128421
148
0.128414
201
0.128408
186
0.128402
217
0.128396
159
0.12839
145
0.128383
220
0.128377
178
0.128371
207
0.128365
186
0.128359
191
0.128352
164
0.128346
189
0.12834
55
0.128334
132
0.128328
95
0.128321
0
0.128315
159
0.128309
216
0.128303
204
0.128297
133
0.128291
66
0.128284
357
0.128278
100
0.128272
179
0.128266
94
0.12826
200
0.128253
191
0.128247
71
0.128241
101
0.128235
134
0.128229
166
0.128223
137
0.128216
131
0.12821
141
0.128204
118
0.128198
254
0.128192
304
0.128185
93
0.128179
118
0.128173
321
0.128167
239
0.128161
128
0.128155
224
0.128148
188
0.128142
147
0.128136
177
0.12813
133
0.128124
171
0.128118
102
0.128111
129
0.128105
183
0.128099
177
0.128093
231
0.128087
180
0.128081
268
0.128074
238
0.128068
242
0.128062
194
0.128056
176
0.12805
271
0.128044
239
0.128037
226
0.128031
251
0.128025
217
0.128019
310
0.128013
160
0.128007
163
0.128
248
0.127994
288
0.127988
209
0.127982
176
0.127976
166
0.12797
302
0.127963
198
0.127957
266
0.127951
356
0.127945
284
0.127939
309
0.127933
191
0.127927
229
0.12792
361
0.127914
336
0.127908
482
0.127902
311
0.127896
407
0.12789
289
0.127884
321
0.127877
348
0.127871
388
0.127865
367
0.127859
407
0.127853
342
0.127847
346
0.12784
357
0.127834
516
0.127828
358
0.127822
474
0.127816
478
0.12781
486
0.127804
591
0.127797
523
0.127791
508
0.127785
386
0.127779
575
0.127773
699
0.127767
511
0.127761
634
0.127755
573
0.127748
579
0.127742
564
0.127736
665
0.12773
507
0.127724
484
0.127718
651
0.127712
558
0.127705
553
0.127699
501
0.127693
633
0.127687
652
0.127681
548
0.127675
645
0.127669
632
0.127663
706
0.127656
618
0.12765
639
0.127644
679
0.127638
729
0.127632
693
0.127626
815
0.12762
860
0.127614
792
0.127607
830
0.127601
722
0.127595
889
0.127589
909
0.127583
1003
0.127577
1050
0.127571
1130
0.127565
1087
0.127558
1296
0.127552
1252
0.127546
1339
0.12754
1306
0.127534
1499
0.127528
1404
0.127522
1388
0.127516
1472
0.127509
1548
0.127503
1745
0.127497
1605
0.127491
1678
0.127485
1782
0.127479
1720
0.127473
1933
0.127467
1813
0.127461
1903
0.127454
1911
0.127448
1886
0.127442
1993
0.127436
1973
0.12743
2154
0.127424
2267
0.127418
2281
0.127412
2244
0.127406
2434
0.127399
2559
0.127393
2669
0.127387
2880
0.127381
2806
0.127375
3083
0.127369
3379
0.127363
3410
0.127357
3583
0.127351
3709
0.127345
4074
0.127338
4209
0.127332
4270
0.127326
4532
0.12732
4597
0.127314
4909
0.127308
4705
0.127302
4958
0.127296
4932
0.12729
4961
0.127284
5089
0.127277
5148
0.127271
4927
0.127265
4623
0.127259
4797
0.127253
4589
0.127247
4502
0.127241
4356
0.127235
4157
0.127229
3845
0.127223
3629
0.127217
3242
0.12721
3196
0.127204
2814
0.127198
2658
0.127192
2254
0.127186
2068
0.12718
1823
0.127174
1886
0.127168
1538
0.127162
1256
0.127156
1287
0.12715
1119
0.127144
1053
0.127137
817
0.127131
876
0.127125
765
0.127119
533
0.127113
601
0.127107
497
0.127101
424
0.127095
384
0.127089
352
0.127083
296
0.127077
386
0.127071
315
0.127065
302
0.127058
317
0.127052
277
0.127046
327
0.12704
297
0.127034
318
0.127028
285
0.127022
258
0.127016
360
0.12701
245
0.127004
81
0.126998
234
0.126992
235
0.126986
216
0.12698
102
0.126973
93
0.126967
209
0.126961
132
0.126955
162
0.126949
321
0.126943
265
0.126937
148
0.126931
197
0.126925
177
0.126919
37
0.126913
160
0.126907
132
0.126901
261
0.126895
174
0.126889
143
0.126883
152
0.126876
182
0.12687
191
0.126864
185
0.126858
193
0.126852
175
0.126846
196
0.12684
251
0.126834
204
0.126828
151
0.126822
115
0.126816
112
0.12681
214
0.126804
240
0.126798
162
0.126792
213
0.126786
197
0.12678
182
0.126774
151
0.126768
174
0.126761
130
0.126755
83
0.126749
205
0.126743
129
0.126737
164
0.126731
199
0.126725
102
0.126719
271
0.126713
230
0.126707
219
0.126701
105
0.126695
231
0.126689
315
0.126683
236
0.126677
167
0.126671
227
0.126665
50
0.126659
300
0.126653
149
0.126647
245
0.126641
297
0.126635
226
0.126629
226
0.126622
90
0.126616
217
0.12661
216
0.126604
182
0.126598
27
0.126592
126
0.126586
121
0.12658
265
0.126574
300
0.126568
179
0.126562
174
0.126556
168
0.12655
258
0.126544
195
0.126538
102
0.126532
75
0.126526
145
0.12652
145
0.126514
31
0.126508
190
0.126502
146
0.126496
231
0.12649
124
0.126484
238
0.126478
188
0.126472
126
0.126466
167
0.12646
68
0.126454
89
0.126448
169
0.126442
222
0.126436
178
0.12643
333
0.126424
292
0.126418
202
0.126412
127
0.126406
156
0.1264
263
0.126394
4
0.126388
159
0.126381
241
0.126375
262
0.126369
158
0.126363
176
0.126357
148
0.126351
161
0.126345
223
0.126339
110
0.126333
145
0.126327
145
0.126321
177
0.126315
10
0.126309
158
0.126303
308
0.126297
142
0.126291
276
0.126285
156
0.126279
211
0.126273
200
0.126267
135
0.126261
216
0.126255
231
0.126249
215
0.126243
200
0.126237
233
0.126231
214
0.126225
184
0.126219
251
0.126213
273
0.126207
268
0.126201
218
0.126195
168
0.126189
185
0.126183
300
0.126177
332
0.126171
215
0.126165
133
0.126159
166
0.126153
274
0.126147
154
0.126141
243
0.126135
178
0.126129
258
0.126123
181
0.126117
172
0.126111
201
0.126105
241
0.126099
302
0.126093
228
0.126087
246
0.126081
245
0.126075
247
0.126069
219
0.126063
248
0.126058
175
0.126052
387
0.126046
254
0.12604
227
0.126034
192
0.126028
117
0.126022
213
0.126016
355
0.12601
108
0.126004
190
0.125998
283
0.125992
127
0.125986
as rec'd 90 deg electron TOA
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
2003
5
10
14
39
40
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
542
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
802
6522
69781
0.163751
0.167745
7771
0.167745
7738
0.167735
7532
0.167724
7709
0.167714
7473
0.167704
7641
0.167694
7697
0.167684
7644
0.167673
7491
0.167663
7538
0.167653
7547
0.167643
7686
0.167633
7562
0.167622
7538
0.167612
7596
0.167602
7561
0.167592
7616
0.167582
7490
0.167571
7722
0.167561
7493
0.167551
7330
0.167541
7554
0.167531
7713
0.167521
7491
0.16751
7496
0.1675
7512
0.16749
7620
0.16748
7471
0.16747
7460
0.167459
7632
0.167449
7530
0.167439
7634
0.167429
7611
0.167419
7542
0.167409
7637
0.167398
7488
0.167388
7477
0.167378
7589
0.167368
7514
0.167358
7708
0.167348
7558
0.167337
7429
0.167327
7659
0.167317
7472
0.167307
7591
0.167297
7446
0.167287
7674
0.167276
7485
0.167266
7588
0.167256
7589
0.167246
7474
0.167236
7561
0.167226
7612
0.167216
7633
0.167205
7547
0.167195
7639
0.167185
7499
0.167175
7498
0.167165
7563
0.167155
7496
0.167144
7395
0.167134
7625
0.167124
7560
0.167114
7558
0.167104
7532
0.167094
7740
0.167084
7680
0.167074
7731
0.167063
7633
0.167053
7507
0.167043
7616
0.167033
7525
0.167023
7570
0.167013
7700
0.167003
7605
0.166992
7572
0.166982
7707
0.166972
7535
0.166962
7547
0.166952
7514
0.166942
7547
0.166932
7558
0.166922
7693
0.166911
7443
0.166901
7755
0.166891
7646
0.166881
7724
0.166871
7548
0.166861
7579
0.166851
7681
0.166841
7541
0.166831
7673
0.16682
7689
0.16681
7786
0.1668
7749
0.16679
7735
0.16678
7598
0.16677
7601
0.16676
7703
0.16675
7507
0.16674
7825
0.16673
7847
0.166719
7773
0.166709
7572
0.166699
7719
0.166689
7711
0.166679
7732
0.166669
7791
0.166659
7851
0.166649
7913
0.166639
7785
0.166629
7922
0.166619
7732
0.166609
8010
0.166598
7972
0.166588
7942
0.166578
8068
0.166568
7871
0.166558
8038
0.166548
8103
0.166538
7982
0.166528
8045
0.166518
8208
0.166508
8189
0.166498
8398
0.166488
8448
0.166478
8387
0.166467
8600
0.166457
8564
0.166447
8704
0.166437
9057
0.166427
9010
0.166417
9147
0.166407
9382
0.166397
9396
0.166387
9708
0.166377
9601
0.166367
9991
0.166357
10364
0.166347
10726
0.166337
11007
0.166327
11142
0.166317
11720
0.166307
12140
0.166297
12722
0.166286
12925
0.166276
13812
0.166266
14202
0.166256
15354
0.166246
16011
0.166236
17043
0.166226
17603
0.166216
18571
0.166206
20020
0.166196
21314
0.166186
22340
0.166176
24108
0.166166
26015
0.166156
27839
0.166146
29894
0.166136
31364
0.166126
33730
0.166116
35962
0.166106
38343
0.166096
40428
0.166086
43476
0.166076
45599
0.166066
48170
0.166056
50880
0.166046
54084
0.166036
55426
0.166026
58258
0.166016
60139
0.166006
62441
0.165996
63535
0.165986
65344
0.165976
66785
0.165966
68010
0.165956
69230
0.165946
69559
0.165936
69781
0.165926
69449
0.165916
69500
0.165906
68411
0.165896
67563
0.165886
66809
0.165876
65192
0.165866
63870
0.165856
62325
0.165846
60318
0.165836
57968
0.165826
56235
0.165816
53545
0.165806
51925
0.165796
49484
0.165786
46875
0.165776
44707
0.165766
42824
0.165756
40725
0.165746
39222
0.165736
36600
0.165726
35231
0.165716
33029
0.165706
31501
0.165696
29180
0.165686
27780
0.165676
26225
0.165666
24536
0.165656
23258
0.165646
21790
0.165636
20612
0.165626
19018
0.165616
18175
0.165606
17095
0.165596
15853
0.165586
14953
0.165576
13845
0.165566
13589
0.165556
12755
0.165546
12039
0.165536
11339
0.165526
10725
0.165516
10353
0.165506
9917
0.165496
9672
0.165486
9304
0.165476
8771
0.165467
8671
0.165457
8421
0.165447
8468
0.165437
8141
0.165427
8086
0.165417
7900
0.165407
7747
0.165397
7663
0.165387
7580
0.165377
7536
0.165367
7315
0.165357
7445
0.165347
7340
0.165337
7341
0.165327
7238
0.165317
7183
0.165307
7364
0.165297
7141
0.165288
7075
0.165278
7139
0.165268
6986
0.165258
7063
0.165248
7045
0.165238
6952
0.165228
7063
0.165218
7067
0.165208
6919
0.165198
6910
0.165188
6898
0.165178
7024
0.165168
6948
0.165159
7049
0.165149
7046
0.165139
6766
0.165129
6887
0.165119
6906
0.165109
6883
0.165099
7058
0.165089
6880
0.165079
6819
0.165069
6735
0.165059
6911
0.165049
6841
0.16504
6832
0.16503
6987
0.16502
6699
0.16501
6945
0.165
6860
0.16499
6873
0.16498
6788
0.16497
6857
0.16496
6929
0.16495
6787
0.164941
6833
0.164931
6767
0.164921
6852
0.164911
6685
0.164901
6694
0.164891
6840
0.164881
6902
0.164871
6881
0.164861
6766
0.164852
6779
0.164842
6829
0.164832
6756
0.164822
6681
0.164812
6702
0.164802
6859
0.164792
6788
0.164782
6693
0.164773
6758
0.164763
6682
0.164753
6756
0.164743
6713
0.164733
6694
0.164723
6716
0.164713
6821
0.164703
6820
0.164694
6753
0.164684
6761
0.164674
6691
0.164664
6762
0.164654
6779
0.164644
6621
0.164634
6575
0.164625
6557
0.164615
6741
0.164605
6810
0.164595
6614
0.164585
6756
0.164575
6809
0.164565
6708
0.164556
6613
0.164546
6729
0.164536
6678
0.164526
6639
0.164516
6784
0.164506
6529
0.164496
6641
0.164487
6687
0.164477
6767
0.164467
6765
0.164457
6544
0.164447
6836
0.164437
6627
0.164428
6772
0.164418
6672
0.164408
6697
0.164398
6659
0.164388
6685
0.164378
6797
0.164369
6681
0.164359
6662
0.164349
6650
0.164339
6560
0.164329
6735
0.164319
6678
0.16431
6856
0.1643
6591
0.16429
6652
0.16428
6800
0.16427
6578
0.164261
6713
0.164251
6680
0.164241
6657
0.164231
6672
0.164221
6718
0.164211
6675
0.164202
6703
0.164192
6648
0.164182
6658
0.164172
6547
0.164162
6678
0.164153
6778
0.164143
6722
0.164133
6695
0.164123
6721
0.164113
6644
0.164104
6592
0.164094
6578
0.164084
6786
0.164074
6627
0.164064
6725
0.164055
6685
0.164045
6546
0.164035
6749
0.164025
6753
0.164015
6786
0.164006
6546
0.163996
6720
0.163986
6764
0.163976
6555
0.163966
6608
0.163957
6661
0.163947
6726
0.163937
6671
0.163927
6689
0.163918
6522
0.163908
6569
0.163898
6622
0.163888
6570
0.163878
6732
0.163869
6783
0.163859
6869
0.163849
6730
0.163839
6759
0.16383
6570
0.16382
6736
0.16381
6597
0.1638
6724
0.163791
6806
0.163781
6644
0.163771
6686
0.163761
6629
0.163751
as rec'd 90 deg electron TOA
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
2003
5
10
14
39
40
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
40
4.00E-06
0
0
0
0
402
1159
105804
0.107612
0.10851
4971
0.10851
5097
0.108505
5228
0.108501
5083
0.108496
5018
0.108492
5015
0.108487
4982
0.108483
5179
0.108478
4898
0.108473
4962
0.108469
5088
0.108464
4888
0.10846
4831
0.108455
4919
0.108451
4950
0.108446
4815
0.108442
4905
0.108437
4815
0.108433
4855
0.108428
4844
0.108424
4813
0.108419
5024
0.108415
4883
0.10841
4934
0.108406
4919
0.108401
4963
0.108397
4866
0.108392
4980
0.108388
4925
0.108383
4972
0.108379
5170
0.108374
5199
0.10837
5234
0.108365
5356
0.108361
5517
0.108356
5530
0.108352
5779
0.108347
6054
0.108343
6189
0.108338
6241
0.108334
6720
0.108329
7034
0.108325
7167
0.10832
7533
0.108315
7962
0.108311
8351
0.108306
8756
0.108302
9158
0.108297
9513
0.108293
9898
0.108288
10689
0.108284
10890
0.108279
11561
0.108275
11869
0.10827
12513
0.108266
13013
0.108261
13766
0.108257
14069
0.108252
14577
0.108248
15261
0.108243
15589
0.108239
15715
0.108234
16428
0.10823
16682
0.108225
16993
0.108221
16934
0.108216
17112
0.108212
17364
0.108207
17532
0.108203
17266
0.108198
17120
0.108194
17162
0.108189
17023
0.108185
16803
0.10818
16513
0.108176
16342
0.108171
15767
0.108167
15316
0.108162
14789
0.108158
14551
0.108153
14180
0.108149
13744
0.108144
13025
0.10814
12753
0.108135
12098
0.108131
11711
0.108126
11322
0.108122
10781
0.108118
10481
0.108113
9900
0.108109
9709
0.108104
9293
0.1081
9148
0.108095
8802
0.108091
8302
0.108086
8175
0.108082
7834
0.108077
7718
0.108073
7467
0.108068
7449
0.108064
7223
0.108059
7116
0.108055
6774
0.10805
6770
0.108046
6545
0.108041
6490
0.108037
6449
0.108032
6644
0.108028
6536
0.108023
6518
0.108019
6541
0.108014
6770
0.10801
6831
0.108005
6956
0.108001
7103
0.107996
7110
0.107992
7734
0.107987
7945
0.107983
8337
0.107978
8969
0.107974
9255
0.107969
10340
0.107965
11090
0.107961
12288
0.107956
13709
0.107952
15207
0.107947
17378
0.107943
20050
0.107938
22832
0.107934
26650
0.107929
30926
0.107925
36056
0.10792
40956
0.107916
46608
0.107911
52480
0.107907
58063
0.107902
63600
0.107898
67790
0.107893
72332
0.107889
75407
0.107884
78930
0.10788
81070
0.107875
83612
0.107871
86571
0.107867
89882
0.107862
93597
0.107858
97529
0.107853
101134
0.107849
104409
0.107844
105804
0.10784
105621
0.107835
102674
0.107831
97388
0.107826
90968
0.107822
80936
0.107817
71027
0.107813
59818
0.107808
49746
0.107804
39656
0.107799
31264
0.107795
24440
0.107791
18769
0.107786
14322
0.107782
11112
0.107777
8638
0.107773
7142
0.107768
5803
0.107764
5058
0.107759
4292
0.107755
3764
0.10775
3424
0.107746
3109
0.107741
2851
0.107737
2807
0.107732
2511
0.107728
2436
0.107724
2175
0.107719
2168
0.107715
2014
0.10771
2068
0.107706
1925
0.107701
1837
0.107697
1870
0.107692
1731
0.107688
1689
0.107683
1570
0.107679
1613
0.107675
1437
0.10767
1488
0.107666
1410
0.107661
1399
0.107657
1315
0.107652
1316
0.107648
1265
0.107643
1275
0.107639
1253
0.107634
1200
0.10763
1167
0.107625
1188
0.107621
1159
0.107617
1183
0.107612
as rec'd 90 deg electron TOA
n-Si<110> CZ 10ohm-cm lot 280292-00-417 Mitsubishi
2003
5
10
14
39
40
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.68
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
40
4.00E-06
0
0
0
0
402
184
20304
0.143926
0.14497
850
0.14497
855
0.144964
817
0.144959
807
0.144954
810
0.144949
809
0.144943
827
0.144938
831
0.144933
826
0.144928
859
0.144922
804
0.144917
762
0.144912
789
0.144907
764
0.144901
810
0.144896
800
0.144891
798
0.144886
788
0.14488
778
0.144875
822
0.14487
764
0.144865
797
0.144859
799
0.144854
789
0.144849
778
0.144844
844
0.144838
811
0.144833
791
0.144828
795
0.144823
796
0.144817
821
0.144812
812
0.144807
772
0.144802
864
0.144796
852
0.144791
814
0.144786
868
0.144781
923
0.144775
882
0.14477
967
0.144765
1068
0.14476
1071
0.144754
1138
0.144749
1219
0.144744
1253
0.144739
1283
0.144734
1370
0.144728
1391
0.144723
1519
0.144718
1553
0.144713
1731
0.144707
1758
0.144702
1837
0.144697
1911
0.144692
2034
0.144686
2123
0.144681
2157
0.144676
2213
0.144671
2376
0.144665
2578
0.14466
2618
0.144655
2657
0.14465
2678
0.144645
2743
0.144639
2814
0.144634
2781
0.144629
2819
0.144624
2835
0.144618
2886
0.144613
2909
0.144608
2804
0.144603
2872
0.144597
2921
0.144592
2898
0.144587
2659
0.144582
2790
0.144577
2686
0.144571
2529
0.144566
2478
0.144561
2386
0.144556
2273
0.14455
2189
0.144545
2158
0.14454
2099
0.144535
2036
0.14453
1939
0.144524
1772
0.144519
1759
0.144514
1673
0.144509
1639
0.144503
1598
0.144498
1505
0.144493
1466
0.144488
1369
0.144483
1329
0.144477
1323
0.144472
1301
0.144467
1254
0.144462
1130
0.144456
1159
0.144451
1125
0.144446
1123
0.144441
1063
0.144436
1012
0.14443
1060
0.144425
997
0.14442
1019
0.144415
989
0.14441
985
0.144404
1004
0.144399
1007
0.144394
1043
0.144389
1073
0.144383
1095
0.144378
1068
0.144373
1144
0.144368
1076
0.144363
1212
0.144357
1192
0.144352
1291
0.144347
1262
0.144342
1404
0.144337
1564
0.144331
1573
0.144326
1756
0.144321
1960
0.144316
2271
0.144311
2589
0.144305
3087
0.1443
3575
0.144295
4257
0.14429
5115
0.144285
6046
0.144279
7020
0.144274
8479
0.144269
9619
0.144264
11114
0.144259
12089
0.144253
12902
0.144248
13107
0.144243
13312
0.144238
13376
0.144233
13005
0.144227
13430
0.144222
13628
0.144217
14499
0.144212
15664
0.144207
17081
0.144201
18606
0.144196
19682
0.144191
20304
0.144186
20225
0.144181
19202
0.144175
17183
0.14417
14906
0.144165
11981
0.14416
9420
0.144155
7229
0.144149
5353
0.144144
3779
0.144139
2802
0.144134
2072
0.144129
1502
0.144123
1203
0.144118
984
0.144113
818
0.144108
647
0.144103
550
0.144097
488
0.144092
457
0.144087
393
0.144082
348
0.144077
315
0.144071
328
0.144066
291
0.144061
306
0.144056
274
0.144051
256
0.144046
254
0.14404
249
0.144035
232
0.14403
207
0.144025
229
0.14402
228
0.144014
211
0.144009
201
0.144004
207
0.143999
198
0.143994
187
0.143988
223
0.143983
231
0.143978
233
0.143973
230
0.143968
211
0.143963
184
0.143957
227
0.143952
235
0.143947
207
0.143942
202
0.143937
223
0.143931
194
0.143926
end of experiment
